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深圳大学半导体制造研究院 简介

ISMR (Institute of Semiconductor Manufacturing Research), Shenzhen University

   

针对我国半导体产业“软硬/硬软(设计较强/制造很弱)”的现状,深圳大学于2019年成立半导体制造研究院,主攻半导体卡脖子制造技术的研发,立足深圳及粤港澳大湾区,充分发挥产学研机制,直接服务于国内半导体制造产业,解国家燃眉之急。


 

研究院创院院长为深圳大学全职特聘教授王序进院士。王序进院士在海内外长年从事微纳制造、芯片制造核心工艺、装备及器件的研发,是该领域的世界级顶尖专家。在齿轮精密加工领域成功研发了高效经济成型磨齿工艺,获得中国首届青年科技奖。研发的LED蓝宝石衬底超精密加工技术为世界首次实现LED量产做出了重大贡献。在半导体制程领域成功研发了用于低k绝缘层平坦化的全世界最低压CMP制程工艺和设备,这一成果得到国际CMP业界高度评价,并获得日本精密工学会技术奖。成功研发了浸润式光刻机投影镜头在线检测用新型光学微纳器件,实现了高端半导体芯片浸润式光刻制程稳定量产。在先进影像技术领域,成功研发了世界最高性能的在单个图像传感器上同时实现RGB可视光和NIR近红外线成像的多光谱照相机。王序进院士在日本、美国、中国、中国台湾、韩国获授权数十项发明专利。


 

王序进院士


研究院下设院办公室、光刻机研发中心、传感器研发中心、SiC器件研发中心等行政科研机构。各科研方向团队全部实行PI负责制,现已有超20个团队,在读硕博研究生40余人,每个团队均与领域相关企业开展产学研合作研发。研究院目前在光刻机核心零部件,半导体制造前后道(含蚀刻、成膜、CMP、划片、先进封装等)关键工艺及装备领域开展研发工作。

为适应研究院不断壮大发展的需要,研究院长期招聘半导体芯片制造工艺、微纳制造工艺、微电子器件及超精密加工等领域的专职研究人员、博士后,招聘详情参见深圳大学人事部网站(https://hr.szu.edu.cn)。请有意应聘者,将个人简历成果等电子文档打包发送至郭登极副院长邮箱:guodj@szu.edu.cn,邮件标题写为:应聘专职研究人员/博士后+姓名+博士毕业学校名。


(本文更新于202268日)