深圳大学半导体制造研究院正式创立【光刻机研发中心】

当前制约我国工业发展的35项“卡脖子”重大核心技术里，光刻机位居榜首、芯片位居第二。光刻机作为芯片制造的首要关键设备，是人类历史上最精密的机械，被誉为人类工业“皇冠上的明珠”。高端光刻机制造难度甚至超过“两弹一星”。针对这一国家重大技术需求，深圳大学半导体制造研究院正式创立了“光刻机研发中心”。

光刻机涉及微纳制造、超精密机械、现代光学、激光物理、智能控制、先进传感器等多领域高端交叉学科。该中心同时聚集了深圳大学机电学院、物理光电学院等相关领域的顶尖研究人员，共同攻克“卡脖子”核心技术瓶颈。

该中心诚挚欢迎国内相关企业和研发机构携手合作，请联系：guodj@szu.edu.cn。

2020年10月01日